安捷伦氦质谱检漏仪VS系列 真空镀膜真空系统检漏仪
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摘要
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产品介绍
安捷伦氦质谱检漏仪PR02，电厂冷凝罐及汽轮机管路检漏
安捷伦氦质谱检漏仪PR03，电厂真空冷凝器系统
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VS自动检漏仪
概述
VS 系列检漏仪将仅需两个按钮的简便操作同***的***系统智能结合起来。的质谱仪与真空系统的结合提供了强大的性能，能为不同的应用提供广泛的测试方法。广泛的选项带来了巨大的配置灵活性，极富活力的设计创意令 VS 系列检漏仪能够在***严苛的环境中可靠地运行，满足***苛刻的工业标准。
特点
全自动的初始设置及校正程度地提升了效率
测试接口高压力允许对大型泄漏的检测
主泵和系统的安装可以根据您的需求进行选择
快速的净化延长了系统的正常运行时间，强大的法拉第杯技术以低廉的维护成本带来了经证实的可靠性
在扩大范围的同时摒弃了繁杂的接线
新型离子源和束流光学优化了灵敏度和质量分离
检漏仪可以外放于洁净室内，从而避免污染
主要性能：
1，***小可测漏率：5×10-12 Atm.cc/sec（=5×10-13 Pa.m3/sec）；
2，启测压强（前级耐压）：10 Torr (=1330 Pa)；
3, 双键操作，全中文操作界面， 大屏幕彩色触摸屏；
4，校准和操作方式：全自动,带温度自动补偿；
5，反应时间：< 0.5 sec；
6，单位选择：atm cc/sec、mbar l/sec、Torr l/sec、Pa m3/sec；
7，背景扣除能力：每次下压2.5个量级，具有自动记忆功能；
8，检漏仪前级泵抽速：11.6 m3/hour （＝3.2 liter/sec）。
9，7种语言可以选择，包括中文
安捷伦产品优势：
n 快速的响应时间和清除时间
n 高灵敏度
n 高抽速真空泵
n 洁净的无油系统
n 可移动性/便携性
n 占用空间小
应用：
真空加工设备或工具
真空炉
真空涂镀装置
光束线
电子束和离子束处理设备
分析仪器
半导体加工工具
激光加工设备
高压系统
n 电厂
n 地下储藏设施、电缆和管道
n 高纯度气体处理系统
n 生物反应器和发酵池
n 液化气生产设施
n 燃料箱和囊
