SF6气体抽真空及回充真空泵

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产品特性：

1 .整体式缸体静音运行

TXD系列产品采用整体式缸体结构，从结构上保证缸体的精度和变形对真空泵的影响，同时采用顶面切点圆弧设计，使产品的极限真空稳定在4×10 Pa以下。

2 .强制进油系统强制润滑可靠运行

TXD系列产品采用内置油泵循环强制进油系统，对泵腔进行强制润滑，因此可以在入口压强为大气压的情况下较长时间工作。

3 .防返油进气口阀迅速关闭防止返流

TXD系列产品采用自动防返油阀结构，可在停泵时自动切断被抽系统，保证系统的真空及不被污染。

4 .可调节气镇极强的水蒸汽处理能力

TXD系列产品装有可调节气镇，保证极强的耐水蒸汽能力，有效排除可凝性气体。

5 .大散热设计低温运行

结构原理：

真空泵为双级直联旋片式真空泵，产品以高可靠性、低噪音和高极限真空度为设计定位，通过采用世界的整体式泵体结构设计，强制油泵润滑油压控制系统，同时具有不同渗气的气镇阀设计使得产品在不同使用环境中保持高可靠性。

用途及使用范围：

TXD系列真空泵是真空应用领域中***基本的真空获得设备，特别适用于需要获得高极限真空低噪音环境的科研、教学、实验室、分析仪器、医疗器械、真空镀膜等不同真空应用领域。

TXD系列真空泵可作为中、低真空系统的主轴泵，也可以作为罗茨泵、扩散泵、分子泵等中高真空、超高真空系统的前级泵。

泵的技术参数如表：